Meditor de debit inteligent al masei Controlor de debit cu volum mic Meditor de debit al masei gazelor termice
Utilizare și caracteristici
Controlorul de flux de masă (Mass Flow Controller, abreviat MFC) este utilizat pentru măsurarea și controlul cu precizie al fluxului de masă al gazelor. Acestea au un rol important în cercetarea și producția în industria semiconductorilor și a circuitelor integrate, disciplinele de materiale speciale, industria chimică și mai multe domenii, inclusiv industria, medicina și lămpile cu vid. Aplicațiile sale tipice includ: echipamente de proces electronic, cum ar fi difuzia, extinderea, CVD、 Oxidare, gravura cu plasma, pulverizare, injectare cu ioni; Și echipamente de acoperire, topire a fibrelor optice, dispozitive de microreacție, sisteme de distribuție a gazelor amestecate, măsurare a capilarelor, cromatografie gazoasă și alte instrumente de analiză.
Principalii indicatori tehnici
Intervalul de măsurare (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Precizie +1,5% F.S.
Liniar +0,5 ~ 1,5% FS
Precizie de repetare +0.2% F.S.
Timp de răspuns 10 sec Caracteristici gazului: (1 ~ 4) sec
Presiunea de lucru 0.1 ~ 0.5MPa
presiune 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Temperatura mediului de lucru 0 ~ 70 ℃
Număr RS485 MODBUS
Capacitate analogică DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA opțional
Caracteristici electrice: SLM
Alimentare DC +15V/24V opțional, debitometru <50mA, controller <200mA
Conexiune electrică DB15
Rata de scurgere 1×10 SCCSHe
Material bază 316L oțel inoxidabil
Materiale de etanșare cauciuc fluorat, cauciuc butan, neoprene
Conector de căi de aer Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Notă: Contrometrul de flux de masă și controlorul de flux de masă sunt calibrate de obicei în fabrică cu azot (N₂).
Unitatea de flux de masă este: SCCM (ml/min standard); SLM (litri standard/min)
Meditor de debit inteligent al masei Controlor de debit cu volum mic Meditor de debit al masei gazelor termice