OTL-PECVD-1200-1400-1200 Sistemul PECVD cu trei zone de temperatură, format din trei cuptoare cu tuburi de vid, cameră de vid de cuarț, alimentare cu frecvență radio, sistem de alimentare cu gaz GX, sistem de pompare, sistem de măsurare a vidului, mecanism de tracțiune electrică.

Principalele caracteristici:

1, prin intermediul unei surse de energie de frecvență radio pentru a transforma gazele din camera de vid de cuarț în stare ionică.

PECVD are o temperatură mai scăzută decât CVD-ul obișnuit pentru depozitarea gazelor chimice.

3, poate fi controlată dimensiunea tensiunii filmului depozitat prin frecvența de alimentare cu frecvență radio

PECVD are o rată mai mare de depozitare a gazelor chimice decât CVD obișnuit, o uniformitate bună, o consistență și o stabilitate ridicate.

5, utilizat pe scară largă în: creșterea diferitelor filme subțiri, cum ar fi: SiOx, SiNx, SiOxNy și siliciu amorofob (a-Si: H) etc.

Sistemul PECVD cu trei zone de temperatură este un sistem PECVD capabil să se încălzească și să se răcească rapid, cu o pereche de alunecare electrică instalată în trei cuptoare cu tuburi și un sistem de alunecare electrică disponibil. Rata de încălzire și răcire este de până la 100°C/min. Pentru a obține încălzirea cea mai rapidă, cuptorul poate fi încălzit în prealabil la temperatura stabilită și apoi mută cuptorul la locul de eșantionPune. Pentru o răcire mai rapidă, cuptorul poate fi mutat la celălalt capăt după încălzirea eșantionului. Rata de încălzire și răcire poate fi atinsă în medii de vid sau gaze inerte10 ° C / s, este un sistem PECVD cu zonă duală de temperatură pentru încălzire rapidă și răcire cu costuri reduse.

Acest sistem PECVD cu trei zone de temperatură cu filuri Kanthal rezistente suedeze și bare de carbon de siliciu ca element de încălzire, cu structură de carcasă dublă și 30 de instrumente de control al temperaturii de program, declanșare de fază, control al siliciului controlabil, cuptorul folosește materiale de fibră policristalină de oxid de aluminiu importate din Japonia, ambele capături ale țevei cuptorului sunt etanșate cu flanșe din oțel inoxidabil, flanșe din oțel inoxidabil sunt instalate cu gură de aer, supapeȘi manometrul de presiune, pomparea vid poate ajunge la 10-3 Pa, împărțit în două zone de temperatură, două zone de temperatură pot fi controlate independent, setarea temperaturilor diferite, ușor de utilizat, operare simplă, cuptorul are echilibrul câmpului de temperatură, temperatura de suprafață scăzută, rata rapidă a temperaturii de răcire, economisirea energiei și alte avantaje, sunt universități, institute de cercetare științifică, întreprinderi industriale și miniere pentru a face arderea atmosferei la temperaturi ridicate Produsul ideal pentru noduri, creșterea grafenului și creșterea diferitelor filme subțiri.

(1), grosimea terminalului fierbinte al bare de carbon de siliciu d este de 14 mm, producătorii obișnuiți folosesc 12 mm, terminalul de încălzire este gros, nu este ușor de îndoit, sarcina de suprafață a bare este scăzută și o viață lungă.

（2), lungimea capătului rece este de 210 mm, producătorii obișnuiți folosesc 180 mm, temperatura scăzută a capătului cuptorului lung la capătul rece.

(3), suprafața bare de carbon de siliciu oxid film necristal densă, poate proteja mai bine bara de carbon.

Deschiderea golă se deconectează automat atunci când circuitul este supracurent sau scurgere

Cuptor cu tuburi atmosfericeDar...Equipat cu interfață de comunicare și software, poate fi controlat direct prin intermediul calculatorului diferitii parametri ai cuptorului și poate fi observat de la calculator valorile de temperatură PV și SV și funcționarea instrumentului pe cuptor, calculatorul curbei reale de încălzire a cuptorului va fi desenat în timp real și poate salva datele de temperatură din fiecare moment.

(1), cuptorul de curare cu fibră policristalină de oxid de aluminiu de înaltă puritate de filtrare în vid.
(2) Utilizarea tehnologiei japoneze.
(3), capacitatea termică scăzută a materialului cuptorului, conductivitatea termică scăzută, astfel încât scăderea căldurii este mică, izolarea bună și reflectivitatea ridicată. echilibru termic.
(4), sârmă de oxid de aluminiu de cuptor subțire și lungă, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la creșterea căldurii și capacitatea de răcire puternică
(5), suprafața cuptorului este curată și nu este ușor de îndepărtat.

(Toate produsele electrice importate sunt certificate UL)