Microscopul de forță atomică Park Systems XE-15

Introducerea instrumentului:

Park XE-15 are compatibilitate completă cu eșantioanele. Designul său multiplu de probe oferă un mediu de testare convenabil și fiabil pentru probe de diferite dimensiuni, forme și cantități. Scanerul XY decouplat cu buclă închisă elimină erorile efectului de îndoiere și oferă liniaritate. Modul de scanare fără contact cu adevărat extinde varietatea de probe potrivite, prelungind în același timp durata de viață a sondei și reducând costurile de utilizare.

Parametrii tehnici Park Systems microscop de forță atomică XE-15:

Scanere

Scanere XY

Scaner monomodul cu control cu buclă închisă cu ghidare flexibilă

Domeniul de scanare 100μm * 100μm (opțional 50μm * 50μm)

Deslocare plan: <2nm (scanare 40μm * 40μm)

Scaner Z

Scaner puternic cu ghidare flexibilă

Gama de scanare 12 μm (opțional 25 μm)

Frecvență de rezonanță: > 5 kHz

Zgomot de imagini de suprafață: 0,03 nm

Eșantioane

Tipul de masă de eșantionare: masă de eșantionare pe 16 de locuri / masă de adsorbție de vid cu diametru de 150 mm (masă de adsorbție de vid cu diametru opțional de 200 mm)

Dimensiunea eșantionului: 150mm * 150mm * 20mm

Greutatea eșantionului: zui mare 500g

Gama de mișcare a eșantionului: 150mm * 150mm (opțional 200mm * 200mm)

Principalele caracteristici:

I. Design inovativ de eșantionare în mai multe locuri pentru a oferi eficiența de lucru

• Poate scana mai mult de 16 eșantioane într-o singură operație

• Plasarea eșantionului este ușoară și scanarea rapidă

Îmbunătățirea semnificativă a preciziei și repetitivității datelor

Suport pentru eșantioane mari pentru a satisface nevoile de dezvoltare a industriei

● Suport mare pentru 200 mm wafer, pentru a satisface nevoile actuale și viitoare ale utilizatorilor

• Proiectare specială pentru a răspunde nevoilor reale ale utilizatorilor legate de semiconductori

Opțiune bogată de moduri funcționale

Suport perfect pentru diverse funcții SPM

Suport pentru mai multe moduri de măsurare opționale

● Suport pentru o varietate de accesorii opționale, performanță superioară extinsă