Microscopul electronic de scanare cu emisie de câmp cu rezoluție ultraînaltă Regulus
Modelele SU8240, SU8230, SU8220 și SU8010 au fost reintegrate pentru a deveni Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 și Regulus 8100.
"Seria Regulus" a moştenit performanţele de observaţie şi analiză ale modelelor existente, echipate cu pistolul electronic de lansare la câmp rece cu zgomot redus din seria SU8200*1Se poate obține un flux ridicat de stabilitate.
Prin optimizarea sistemului optic electronic, Regulus 8240/8230/8220 a crescut rezoluția la 0,7 nm la 1 kV, în timp ce Regulus 8100 a crescut rezoluția la 0,8 nm.
În plus, pentru a utiliza pe deplin capacitatea de rezoluție ultra-înaltă, mărirea a crescut de la 1 milion la 2 milioane de ori în trecut.*1Şi.
Regulus 8240/8230/8220/8100 oferă, de asemenea, suport pentru utilizatori care îi ajută pe utilizatori să înțeleagă mai ușor principiile de detectare a diferitelor semnale complexe și să beneficieze de performanța optimă a instrumentului.
- *1
- Numai pentru Regulus 8240/8230/8220
-
Caracteristici
-
Specificații
Caracteristici
- Arma electronică de lansare la rece din seria SU8200*2
- Utilizarea zonei de stabilitate a luminozității ridicate a fasciculului de electroni, care apare după Flashing, ca interval de observație stabilă, permite performanța optimă pentru observații și analize de înaltă rezoluție în condiții de tensiune scăzută de accelerare
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Utilizarea depozitului de probe cu poluare mică și vid ridicat
- Utilizarea unui filtru de energie (opțional) pentru a observa mai multe componente de contrast*2
Observații de înaltă rezoluție la tensiuni de aterizare extrem de scăzute
Eșantion: particule de aur
Tensiunea de aterizare: 10 V
Observații cu rezoluție ultra-înaltă
Eșantion: catalizator Pt
Tensiunea de accelerare: 30 kV
Analiza EDX de înaltă rezoluție la tensiuni scăzute de accelerare
Etichetă: Sn Ball
Tensiunea de aterizare: 1,5 kV
- *2
- Numai pentru Regulus 8240/8230/8220
Specificații
proiect | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Rezoluţie electronică secundară | 0.7 nm (tensiune de accelerare 15 kV) 0.8 nm (Tensiunea de aterizare 1 kV)*3 |
0,6 nm (tensiune de accelerare 15 kV) 0,7 nm (tensiune de aterizare 1 kV)*3 |
|||||
Tensiunea de aterizare | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
Mărire | 20-1.000.000 de ori*4 | 20-2.000.000 de ori*4 | |||||
Eșantioane | Controlul eșantionului | Motorul cu 3 axe (motorul cu 5 axe opțional) | Motorul cu 5 axe | ||||
Intervalul de mișcare | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
Reproducibilitate | - | - | - | ± 0,5 μm sau mai puțin ± 0,5 μm |
- *3
- Observare în modul de încetinire
- *4
- Magnificare bazată pe film de 127 mm x 95 mm
Categorii de produse asociate
- Sistem de fascicul ionic focalizat (FIB/FIB-SEM)
- Dispozitiv de prelucrare a eșantioanelor TEM/SEM