principal
Platformă optică de împletire mare
Plăci de pâine optice
Platformă de flotare cu gaz de precizie
Schimbare electrică
Suport de instrumente pentru platformă optică
Instrument și contor
Stasiunea de deplasare electrică 3D LRTS
Controlor de mișcare cu feedback LRKF
Controlor de mișcare cu buclă deschisă LRKZ
Lift electric LRQX
Lift-uri electrice LRDS
Mesa de reglare electrică 5D LRTSW
Mesa unghiulară electrică cuplată LROS-S
Mesă unghiulară electrică cuplată LROS
LDZJ vertical greu încărcare de ridicare electrică
Platformă mică de precizie LRJX
LRJM Precizie Electric de deplasare de masă - Servo
LRJO-GF Precizie Electric Platforma - cinci pași / raster
Operaţiune reuşită!