KRI Hall Ion Source eH 1000 Caracteristici ale produsului:

BertonKRISursa ionilor HalleH 1000Caracteristici:

1.Componente de anod detașabile-Ușor de întreținut;Întreținere,Minimizarea timpului de oprire;Plug-and-play anod de rezervă

2.Curent de descărcare ridicat cu fascicul larg-Densitate de curent ridicată;Rată uniformă de grabare;Eficiență de gravură ridicată;Acoperire auxiliară ionicăIADEficiență

3.Multifuncțional-Se aplicăLoad lock /Sistem de vid ultraînalt;Instalare ușoară;Fără apă rece

4.Convertire eficientă a plasmai și control stabil al puterii