principal
Sursă de ion KRI Hall Gridless
CTI la bord IS 低温泵
HVA Valva dreptunghiulară de vid
Pompă moleculară turbomagnetică
Refrigerator de apă ultra-scăzută Thermonics
Instrument și contor
Pompa turbomoleculară plătitoare ATH 1600 MT
Thermonics Temperatură scăzută Răcător de apă A-80-1700, răcit cu aer
Mașină Hakuto Ionic IBE
Mașină de grabat ionic Hakuto 20IBE-J
Supape cu vid dreptunghiulare HVA (supape cu placă) Seria 88200
CTI On-Board® IS 320FX 低温泵
Surse de ion KRI Hall Gridless eH din SUA
SUA Sursă de ion KRI Hall eH 400
SUA Sursă de ion KRI Hall eH 1000
Vacuometer cu catod termic PBR 260 IMR 265
Operaţiune reuşită!